超音波式ガスモジュール US-100-5VS
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特 長 |
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仕 様 |
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始動時間 |
約10秒 |
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サンプル温度 |
常温 （50℃MAX) |
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サンプル圧力 |
大気圧 ～ ＋20kPa |
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サンプル流量 |
0.5 ～ 5.0L/min |
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応答速度 |
90％応答 約10秒 |
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直線性/再現性 |
±1％FS以内 （最大レンジ） |
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アナログ出力 |
DC 0-1V |
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配管接続 |
内径 5～6.5㎜ ホース |
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電源供給 |
DC +5.0V±0.3V以内 (オプション：DC +12.0V） |
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周囲環境 |
5 ～ 45℃/90%RH以下 （精度保証範囲） |
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計器寸法 |
W100×D50×H25.6 |
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計器重量 |
約 0.5 kg |
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性 能 |
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測定ガス |
測定範囲 |
分解能 |
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H2/N2、He/N2、He/Air |
0 ～ 50% |
0.1% |
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O2/N2 |
0 ～ 100% |
0.4% |
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Xe/Ar、Kr/N2、CF4/N2 |
0 ～ 100% |
0.05% |
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Xe/N2、SF6/N2 |
0 ～ 100% |
0.03% |
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原理的にさまざまな２種混合ガスの測定が可能です。 |
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